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156*156多晶硅片参数制备方法:DSS 导电类型:P 掺杂剂:B 电阻率范围:0.5 -3.0 厘米, 少数载流子寿命: 2 s 氧含量: 8.0 * 1017 / cm3 碳含量: 1.0 * 1018 / cm3 硅片尺寸:156 * 156 0.5 直角度:90 0.3 斜角度:0.5-2mm 厚度:200 20 m总厚度变化: 30 m 线痕 20 m 翘曲 50 m崩边:深度 0.3mm 长度 0.5mm 微裂纹:不允许的 外观:没有污点,没有边缘破损,没有碎片
舜亦多晶硅片
日期:2010-10-02 10:21 点击:6
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