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晶圆片托架落座传感器薄片载体的落座检测■依靠与导槽并用，设定落座位置。■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。■采用强抗外部干扰光的变调光方式。■电线使用净化电线(无粉尘)。检测方法 反射型检测距离 0~3mm动作模式 晶圆片托架时ON导线长 2mEE-SPY801EE-SPY802额定值/性能项目型号EE-SPY801/802检测距离(标准检测物体)0～5mm（反射率90%白色纸15×15mm2）0～3mm（反射率10%黑色纸15×15mm2）检测物体晶圆片拖架（透明体·不透明体）动作显示灯物体检测时灯亮（橙色）光源(发光波长)GaAs红外发光二极管(940nm)电源电压DC12～24V±10%脉动(p-p)5%以下消耗电流30mA以下控制输出NPN型：集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时)残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时)应答时间5ms以下使用环境照度受光面照度白炽灯、太阳光：3,000lx以下环境温度动作时：－10～＋55℃、保存时：－25～＋65℃（不结冰）环境湿度动作时：5～85％RH、保存时：5～95％RH（不结露）振动(耐久)1～500Hz复振幅1.0mm或150m/s2X、Y、Z各方向3次、11min/次冲击(耐久)500m/s2X、Y、Z各方向3次保护结构IEC规格IP30连接方式导线引出型(标准导线长2m)质量(包装状态)本体(传感器)：约43g、附件(导槽)：约9g材质外壳四氟乙烯共聚合物（ETFE）底板聚对苯二甲酸丁二醇酯附件使用说明书