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光电传感器 ?采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙（PFA）?能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。（-40~+200℃）?实现了0.5mm的高重复精度。?采用了防止液体的结构。