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“微氧分析仪”是从真空管道尾端，通过氧化锆固体电解质，测量尾气中的氧含量浓差变化而产生的电势值来决定吹氧终点。这种方法简单可靠，能够准确的灵敏的反映碳氧反应的发生的强度及终点，效果明显，它已成为精炼操作工的“眼睛”，是控制“VOD”精炼过程的指南。