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微量气体分析仪GA-360EGA-360E产品名称：微量气体分析仪产品型号：GA-360E生产厂家：HORIBA堀场概要它是可以对用于半导体工艺的混合气体(N2、O2、He、Ar、H2、Air)中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度(最小检测感度10ppb)连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。最适于半导体气体制造设备的质量管理。特点1分析仪最大可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度。采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值。不需要进行光学调整，维护性得到了提高。由于搭载有流量(压力)异常、断路器(电磁阀)、失火报警(GA-360E)、电源断开的自我诊断功能，所以能够迅速地在发生异常时采取措施。