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概述 Edwards高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。 iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 PVD制程 PVD预清洁 RTA 剥离/灰化 刻蚀 植入源 HDPCVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和优势 优化了设施消耗。 无需预防性维护。 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。 在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性。 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。 技术数据 峰值速度 600m3h-1 353cfm 10000lmin-1 极限真空 7x10-4mbar 5.3x10-4Torr 0.07Pa 典型轴封氮流量 4slm 进气口连接 ISO100 出口连接 NW40 15psi压降下典型冷却水流量 240lh-1 4lmin-1 重量 415kg 极限功率输入 3.4kW 电机额定功率 6.1kW 油容量 1.43l 峰值速度 103 m3h-1 61 cfm 1717lmin-1 极限真空 1 x10-2mbar 7.5 x10-3Torr 1 Pa 典型轴封氮流量 4slm 进气口连接 ISO63 出口连接 NW40 15psi压降下典型冷却水流量 120lh-1 2lmin-1 重量 240kg 极限功率输入 2.7kW 电机额定功率 3.5 kW 油容量 0.7l