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多晶156*156硅片硅片类型边长h(mm)多晶硅片219.2 1.0多晶硅片技术特征项目参数要求直径尺寸156*156mm 0.5mm对角线尺寸219mm晶向 100 3 电阻率0.5 3.0 .com少子寿命 2.0us径向电阻变化 25﹪氧含量 1.0*1018at/cm3碳含量 5.0*1016at/cm3硅片弯曲度 35 m厚度200 20 m崩边 2mm线痕15 m