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*有效的反应气体处理装置,延长换泵油时间,延长泵使用寿命,降低使用成本. *人性化的机器外形设计,采用角摸屏人机对话方式, 配合独特的软件设计,到时候便于操作,维护,保养. *配置进口压力传感器(薄膜规),采用独特的安装方式,有效防止粉尘粘附, 提高抗干扰能力,消除零飘,确保真空检测精准. *特别设计的片夹固定方式,降低电池片扩散表面被刻蚀而导致效率下降的风险. *独特的电路布局和设计,确保辉光过程的稳定,降低刻蚀不尽的风险,保证优质成品率. *每次300~500片,适应125*125,156*156硅片.