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FS4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等产品特点:-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计-支持多种连接方式，易于安装与使用-传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量-在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高-输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压-零点稳定度高-全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性-低功耗、低压损-响应速度快FS4003通径3mm最大流量2,3,4,5SLPM量程比100:1精度 (1.5+0.2FS)%重复性0.75%零点输出飘移 30mV输出飘移0.12%/oC响应时间100ms工作电源8~18Vdc,100mA输出方式线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损100pa最大工作压力0.5MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度 95%RH（无结冰、无凝露）机械接口BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头校准方式空气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量57（带R1/4,BSPT1/4接口）71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)FS4008通径8mm最大流量10,20,30,40,50SLPM量程比100:1精度 (1.5+0.2FS)%重复性0.75%零点输出飘移 30mV输出飘移0.12%/oC响应时间100ms工作电源8~18Vdc,100mA输出方式线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损600pa最大工作压力0.5MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度 95%RH（无结冰、无凝露）机械接口BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头校准方式空气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量57（带R1/4,BSPT1/4接口）71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)