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18B研磨抛光机主要适用6英寸（含）以下硅片双面精密研磨加工，同时适用于光学玻璃，石英晶片，宝石片，铌酸锂，陶瓷片及其他硬脆材料的双面研磨加工或抛光。主要特点： 1.进口变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。 2.采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。 3.单独电机抬升内齿圈，并在总行范围内随意停留，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度，调整方法简便。 4.采用国内先进的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理，大大提高了其耐蚀性，继而也提高并能长期保证底座安装精度。 5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的知名品牌元件，主气缸为精密低摩擦力气缸，压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。 6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，其静态调整精度＜2Kg,动态压力波动＜30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性，进而确保提高元件加工精度及合格率。 7.人机界面（HMI）显示与PLC主控制器结合，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。 8.采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，使机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。 9.研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过HMI随时可见。 10.可根据用户的加工工艺要求，选装抛光液温度调节装置（单制或双制均可）。 主要技术参数磨盘转速：0~60rpm游行轮参数：公制M=3，Z=154，a=20 游行轮数量：5个最小研磨厚度：5/ 200mm,0.4/ 150mm最大可控研磨厚度：20mm（可根据要求特殊定制）最大研磨直径： 400m主电机：15KW4级三相AC380V太阳轮电机：1.5KW4级三相AC380V内齿圈电机：1.5KW4级三相AC380V气源：0.5~0.7Mpa外型尺寸：2500 1650 3000mm机器重量：~7000kg砂泵电机（带搅拌）：4KWAC380V主机精度下研磨盘端面跳动：0.08mm淹没面平面度：0.02mm太阳轮径向跳动：0.20mm内齿圈径向跳动：0.25mm加工精度（四个修正轮修研后）一致性：0.008mm平面度：0.005m平行度：0.006mm加工能力单片承片量： 1704片， 2002片整盘承片量： 17020片， 20010片