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一、 产品用途本机主要适用8英寸以下硅片双面精密研磨加工，同时适用于光学玻璃，石英晶片，宝石片，铌酸锂，陶瓷片及其他硬脆材料的双面研磨加工或抛光。 二、 产品优点1. 进口变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。2. 采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适应不同的研磨材料及研磨工艺的要求。3. 单独电机抬升内齿圈，并在总行程范围内随意停留自锁，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。太阳轮高度调节只需调节太阳轮座上的三组不锈钢片的厚度，十分方便。4. 齿圈座和下磨盘座，采用了国内先进的防腐技术，进行了防腐处理，大大提高了使用寿命。5. 采用PLC控制，压力采用电 气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，压力过程实现了线形转换。主气缸采用精密无摩擦力气缸，整个控制系统经精密调节，实现上磨盘最小总压力稳定在50Kg。这样大大提高了薄形工件的加工精度及合格率。6. 应用人机界面（PT）显示与PLC控制，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。7. 采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。8. 研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过（PT）显示器随时可见。9. 抛光机配置特殊抛光液存储器，可根据用户的加工工艺要求，调节抛光液的温度。 三、 主要技术参数1. 上磨盘尺寸： 1355mm 458mm 50mm2. 下磨盘尺寸： 1355mm 458mm 50mm3. 磨盘转速：0~60rpm4. 游行轮参数：公制m=3，Z=170， =20 5. 游行轮数量：5个6. 最小研磨厚度：0.5/ 200mm，0.4/ 150mm7. 最大研磨厚度：30mm8. 最大研磨直径： 410mm9. 主电机：18KW 4级 AC380V10.太阳轮电机：1.5KW 4级 AC380V11.内齿圈升降电机：1.5KW 4级 AC380V12.气源：0.5~0.7Mpa13.外型尺寸：2600 1850 3000mm14.机器重量：~7000Kg15.沙泵电机：0.4KW AC380V16.设备表面颜色：白色 四、 主机精度1. 下研磨盘端面跳动： 0.08mm2. 研磨盘平面度： 0.02mm（修正轮修研后）3. 太阳轮径向跳动： 0.10mm4. 内齿圈径向跳动： 0.18mm 五、 加工精度（修正轮修研后）1. 一致性： 0.008mm2. 平面度： 0.005mm3. 平行度： 0.006mm 六、 加工能力1. 单片承片量：6片/ 150 2片/ 200 2. 整盘承片量：30片/ 150 10片/ 200 七、 设备关键部件选用要求1. 气动元件：日本SMC2. 主减速机：浙江杭州3. 主要轴承：日本NSK4. 变频器：德国西门子5. 可编程控制器（PLC）：德国西门子6. 可编程人机界面（PT）：德国西门子7. 拉力传感器：上海8. 电器开关、按钮：德国西门子