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薄膜型半导体式（AET）对厚度约为1000nm的薄膜半导体表面的气体吸附引起的电气传导度变化进行测定特长①可检测1ppm以下的极低浓度的气体②检测精度非常高，可用于气体分析装置③长期稳定性方面表现优异