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深圳市方达研磨技术有限公司 www.szfangda.com.cn www.szfangda.cn http://www.szfangda.cn/Product.asp技术咨询：胡先生 13823704042 0755-26548119我公司供应高精密双面研磨机主要用途：该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。工作原理：1．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。特点1．本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。2．采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。3．修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。4．控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；5．本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在 0.002mm范围内。技术参数： 型号 研磨盘规格： 最大加工工件尺寸 SX-4B 200 100 12t 60mm SX-5B 300 120 12t 100mm SX-6B 380 140 12t 130mm SX--7BG 510 200 12t 165mm SX--9B 635 240 12t 200mm工件平面度（25mm） 工件平行度（25mm）工件粗糙度（石英材料） 0.1u以内 0.2u以内 0.4nm以内 0.1u以内 0.2u以内 0.4nm以内 0.1u以内 0.2u以内 0.4nm以内 0.1u以内 0.2u以内 0.4nm以内 0.2u以内 0.4u以内 0.4nm以内研磨盘修面后平行度 游轮规格 游轮数量 1u以内 80mm 5枚 1u以内 125mm 5枚 1u以内 155mm 5枚 2u以内 190mm 5枚 2u以内 230mm 5枚 下研磨盘转速 下研磨盘电机功率 上研磨盘研磨转速 0~180rpm 0.4kw3相380V 0~60rpm 0~180rpm 0.4kw3相380V 0~60rpm 0~180rpm 0.75kw3相380V 0~60rpm 0~140rpm 1.5kw3相380V 0~60rpm 0~140rpm 2.2kw3相380V 0~60rpm上研磨盘电机功率 上研磨盘修面转速 太阳轮转速 0.2kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.2kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.4kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 0.75kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm 1.5kw3相380V 0~180rpm 0~60rpm上研磨盘修面电机功率 太阳轮电机功率 修面机速度 0.2kw3相380V 0.2kw3相380V 200mm/分钟 0.2kw3相380V 0.2kw3相380V 200mm/分钟 0.4kw3相380V 0.4kw3相380V 200mm/分钟 0.4kw3相380V 0.4kw3相380V 200mm/分钟 0.75kw3相380V 0.75kw3相380V 200mm/分钟外齿轮转速 外齿轮电机功率 修面机伺服马达功率 0~30rpm 0.2kw3相380V 750w 0~30rpm 0.2kw3相380V 750w 0~30rpm 0.4kw3相380V 750w 0~30rpm 0.4kw3相380V 750w 0~30rpm 0.75kw3相380V 750w 外形尺寸： 重量： 680 1000 2100mm 760kg 740 1100 2200mm 850kg 800 1200 2300mm 1100kg 1000 1450 2400mm 1600kg 1200 16150 2400mm 2300kg