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高真空技术中使用的扩散泵油，要求耐热氧化性，冷却温度下蒸气压低，且其蒸气压随温度变化大，沸腾温度不能过高。早期曾使用水银，目前主要使用矿油类、酯类、聚苯醚及硅油等。其中以硅油的性能最好，它具有热氧化稳