价格:未填
供应:99999
发货:3天内
技术指标
型号
SFS-120XY(WA)
平台尺寸
120x120mm
孔径尺寸
50x50mm
驱动装置
压电陶瓷驱动件
小位移传感器
位移传感器
行程
100±15%
分辨率(理论开环)*
1nm
分辨率(闭环)*
10nm
直线度:Xy,Xz,Yx,Yz
≤1μm
重复定位精度
≤0.1μm
承载能力
2kg
自重
1.2kg
*以上数据均为采用FINE-503控制器时的值
供应中空型XY压电陶瓷平台
日期:2010-08-30 23:55 点击:9
联系方式
公司:上海求和精密机电有限公司
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姓名:韩亮(先生)
电话:86 021 61245795-8807
手机:13585872073
传真:86 021 23010347
地址:中国 上海市长宁区 上海市长宁区长宁路1551号4号楼1007室
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