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氧碳测试仪功能特点■硅中氧碳含量测试分析系统是高端研究型硅料杂质含量仪器，该仪器建立在一个共同的光学和电子平台上，达到仪器性能和应用技术的最高水准。■硅中氧碳含量测试分析系统为完整的数据采集、处理过程提供了功能强大的、与Windows兼容的基础系统软件。■基础系统软件包含了最广泛的、友好的在线帮助系统，该系统不仅指导如何操作软件，还提供了从基本原理、光谱解析到最优实验设计等一系列专家帮助功能■杂质分析软件功能强大，不仅可以做到硅料硅棒硅片氧、碳含量自动、快速、准确的测量，还可以进行电池片及半导体膜厚分析，BPSG分析,PSG分析，FSG分析，SiN/SiON分析■测量结果稳定性好，一致性佳。热稳定性极高的整体块状反射镜消除了传统单片反射镜螺丝固定带来的镜片容易变形、螺丝容易松动、需要人工调整光路的弊端，具有极高的重复性，甚至是仪器间的一致性。精密的机械加工确保每次扫描的高度再现，彻底消除仪器给实验结果带来偏差■制样简便、智能操作技术参数1）波数范围：7800cm-1~400cm-12）分辨率：优于0.5cm-13）波数精度： 0.01cm-14）扫描速度：0.2~2.5cm/s，微机控制和选择不同的扫描速度，档次连续可调5）信噪比：优于15，000：16）分数器：KBr基片镀锗7）探测器：标准配置DTGS8）软件：全新中文MainFTOS软件：Windows9X/2000/XP操作系统下的通用操作软件系统9）电源：1)交流：220V/50HZ2)功率：1000VA