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技术指标 型号 SFS-OBL-1 连接螺纹 ø20.32mm 尺寸 75x52.5x42mm 驱动装置 压电陶瓷驱动件 小位移传感器 位移传感器 行程 100±15% 分辨率(理论开环)* 1nm 分辨率(闭环)* 10nm 直线度:Xy,Xz,Yx,Yz ≤1μm 重复定位精度 ≤0.1μm 自重 0.15kg *以上数据均为采用FINE-503控制器时的值