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日本新宇宙COSMOSXD-303（自动吸引式）半导体特气检测仪简介: --采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性--高检测灵敏度、能检测很多种类的半导体特气--液晶数字显示　日本新宇宙COSMOSXD-303（自动吸引式）半导体特气检测仪技术参数：　型号XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303检测对象气体砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它检测范围0～1ppm0～0.2ppm0～1ppm0～0.3ppm0～1ppm因规格而异最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采样方式自动吸引式应答速度60%应答40秒