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PS-7（半导体工厂用）气体检测特点 带有气体采样流量自动控制功能 LCD显示，现场状态一目了然 实现小型、轻量化 可简单地更换传感器和采样气路 带有防止传感器单元错误插入的功能 可以设定多样的维护模式 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等 实现了用PDA读取数据 符合CE规格，SEMI规格型号PS-7标准型附带转换器组件型检测原理 定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 热分解+定电位电解式采样方式泵吸引式（0.5L/min吸引流量自动控制）采样配管特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内气体浓度显示液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图报警接点 气体报警（1段以及二级）报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面第1段ALARM1第1段ALARM1ALARM2显示 流量降低报警堵塞指示显示：流量显示为低速运转报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面FLOW显示以及流量显示为停止运转状态 传感器故障报警/传感器误插入报警报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面SENS.显示 热分解炉断线报警报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面CONV.显示外部输出气体浓度模拟输出DC4~20mA（与电源的负极通用）气体报警接点（1段以及两极）1a无电压接点/自动复位故障报警接点（开路集电极/自动复位）适合电缆线控制用屏幕电缆线（ 8~11mm）x23芯或者4芯使用温度湿度范围0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）使用电源DC24V 10%消耗电力约7w尺寸 W62xH124xD143mm(除去突起物) W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)重量约1.0kg安装方法壁挂式