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气体质量流量控制器M3090A，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3090A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。 气体质量流量控制器M3090A产品亮点： -类 型：MFC气体质量流量控制器-控制范围：10sccm～20slpm (sccm:标准毫升/分slpm:标准升/分) -准度等级: 1%F.S-耐 压： 90bar-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选-响应时间： 2sec-使用范围：2~100%formaxrange -供电电源：+15~+28Vdc,350Ma-漏 率：1 10-9atm cc/sec-气路连接：1/4 SWG，1/8 SWG，3/8 SWG，1/4 VCR-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）-无需温度、压力补偿 气体质量流量控制器M3090A 产品型号M3090VM3090A 流量范围(N2) 10sccm～20slpm 10sccm～20slpm 响应时间 2秒 2秒 准确度 1%满量程 1%满量程 重复精度 0.25%满量程 0.25%满量程 输出输入信号 0~5Vdc 0~5Vdc或4~20毫安 供电 +15~+28Vdc，350毫安 +15~+28Vdc，350毫安 耐压 90bar 90bar 工作环境温度 0~50 C 0~50 C 应用领域：－分析仪器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料电池－生物技术 －气相色谱分析 －等离子刻蚀－激光焊机 －混气配气系统 －微反应装置－真空镀膜 －过程自动化 －石化工业气体质量流量控制器产品概述气体质量流量控制器，即MassFlowController(缩写为MFC )，是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。原则上不需要温度和压力补偿。 （1）气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。 对于多数气体流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的测量仪器，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于气体质量流量控制器，则一般可以忽略不计。 （2）气体测量控制的自动化 气体质量流量控制器可以将气体流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累计流量自动计量、数据自动记录、电脑管理等，还可以实现流量的自动控制。本产品的电子讯号控制方式为模拟式的（Analogtype），输入输出信号为0~+5V或4~20mA. （3）可精确地定量控制流量 气体质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别管用。 （4）适用范围广泛 有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MP；本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如三氟化硼、三氯化硼、氯化氢、氟化氢等等）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50：1）。 （5）连接方法本产品的输出信号是模拟的（0-5Vdc或4-20mA），不可以与电脑直接相连，一般需要在电脑上配A/D、D/A转换板，也可以通过流量显示仪和MFC相连。将模拟/数字转换用于接收流量测量值，数字/模拟转换用于给出0-5Vdc或4-20mA流量设定信号，这种转换板在工业控制产品市场上很容易买到； 二、用途和特点气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着中重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。