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商品简介: 601型质量流量计和控制器（MFC）提供了一种全新尺寸的质量流量控制方式。601M质量流量计和控制器采用已经被广泛证明的PORTER标准MFC用热式传感器和层流原理。并结合PORTER EPC型比例电磁阀。EPC型比例电磁阀已经被很多分析仪器制造商应用在精确的气体流量的控制上。因此601M型质量流量计和控制器是一款既经济又不失精确和稳定控制的优秀产品。技术指标 流量范围：满量程从40SCCM到10SLPM（N2@70℉ 5PSIG） 响应时间：3～4秒 精度和线性： 2%满量程 重复性： 0.2%满量程 量程比：50：1（2%-100%满量程） 工作温度：-10 ～70℃（14-158℉） 温度漂移： 0.1%/℃ 压力漂移： 0.1%/atm（相对于N2） 设定点输入/流量信号输出：0-5Vdc（流量信号输出的最小负载电阻2K ） 供应电源： 12（ 5%）或+15（ 10%）VDC（电流消耗﹤250mAdc） 安装方向：对位置不敏感 预热时间：10分钟 电气连接：D型（9针） 过程连接：1/8 NPT内螺纹结构材质主体：铝阀帽：铝孔：黄铜阀组件（接液） ：不锈钢Kalrez@and Viton are registered trademarks of DuPont Dow Elastomers L.L.C密封材质（O型环和阀座）：Buna N. EPDM,Kalrez ,Neoprene或Viton 过程连接 ：镀镍铜（入口）和铝（出口）订货信息订货时，请提供： 流量范围 气体类型 工作温度 入口压力 出口压力 标定的标准温度（如：0℃，20℃，21.1℃或25℃） 密封材质 附加选项（如：街头，连接电缆，等）