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產品說明精密複合積體電路氣態液態流量控制可配合數位顯示計功能說明設備管路偵測、控制流量大小，液體或氣體皆可量測，可適用於半導體製程控制及其他電子材料製程流量控制。流量範圍：5SCCM~400SLM溫度穩定度0.05％/℃高精度±1％F.S.以下線性±0.5％F.S.以下再現性±0.2％F.S.以下具緩衝啟動機能-變更設定值/電源投入時/外部閥門動作時