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HoribaSTECE40E50E60质量流量控制器HoribaSTECE40E50E60质量流量控制器STEC-E40系列 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3 技术规格型号 SEC-(质量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3 SEF-(质量流量计) E40 E50适用气体种类*1 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)气体接触部材质 SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢阀门型号 非通电时　关闭标准流量量程(N2相应F.S.) 10/20/30/50/100/200/300/500SCCM1/2/3/5/10SLM 20/30SLM流量控制范围(适于SEC系列) 2?100%F.S.流量测量范围(适于SEF系列) 0?100%F.S.响应速度 1秒以内(T98)流量精度 1%F.S.直线性 0.5%F.S.反复性 0.2%F.S.工作差压值值(适于SEC系列) 10SCCM?5SLM：50?300kPa(d)　10?30SLM:100?300kPa(d)使用压力(适于SEF系列) 300kPa(G)以下耐　压 1MPa(G)以下外部泄漏率 1 10-8Pa?m3/s(He)以下使用环境温度 5?50℃(精度的确保：15?35℃)流量设定信号 0.1?5VDC(输入阻抗1M 以上)/2?100%F.S.流量输出信号 0?5VDC(最小负荷电阻2k )驱动电源 +15VDC 5%50mA-15VDC 5%150mA3VA ＋15VDC 5%50mA 15VDC 5%200mA3.9VA标准接头*2 1/4SWL类型 型号 SEC-(质量流量控制器) E60 E70 E80 SEF-(质量流量计) E60 E70 E80适用气体种类*1 N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 N2、O2、Air、H2气体接触部材质 SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢阀门型号 非通电时　关闭标准流量量程(N2相应F.S.) 50/100SLM 200SLM 300/500SLM流量控制范围(适于SEC系列) 5?100%F.S.流量测量范围(适于SEF系列) 0?100%F.S.响应速度 1秒以内(T98) 2秒以内(T98)流量精度 1%F.S. 2%F.S.直线性 0.5%F.S. 1%F.S.反复性 0.5%F.S. 1%F.S.工作差压值值(适于SEC系列) 100?300kPa(d) 200?350kPa(d)使用压力(适于SEF系列) 350kPa(G)以下耐　压 1MPa(G)以下外部泄漏率 1 10-7Pa?m3/s(He)以下 450kPa(G)加压10分钟减压1%以内使用环境温度 5?45℃(精度的确保：15?35℃)流量设定信号 0.25?5VDC(输入阻抗1M 以上)/5?100%F.S.流量输出信号 0?5VDC(最小负荷电阻2k )驱动电源 ＋15VDC 5%50mA 15VDC 5%200mA3.9VA标准接头*2 3/8SWL类型 1/2SWL类型*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。※SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。