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HT2000系列空气质量流量传感器，该产品芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成：热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游；加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压，即本征赛贝克效应。应用领域 ◆ 暖通空调和汽车工业上的质量流量◆ 医用呼吸器和通风器◆ 气体分析仪◆ 气体标定性能◆ 对低速和微差压十分敏感◆ 没有输出信号的偏移和偏移漂移◆ 反应速度快（小于10ms）◆ 耐腐蚀性气体，耐磨擦◆ 耐振动，耐高压（15个以上大气压） ◆ 信号处理电路简单独特优势★ 热偶堆测温基于组成材料的本征塞贝克效应。这种测温方式除了具有灵敏度高，不受干扰的优点外，还不像二极管和三极管测温，需要外加偏压，因而不产生输出信号的偏移和偏移漂移，使测量变得简单。★ 独到的隔热底座设计不用薄膜和表面空穴。因此芯片可以承受强烈震动，耐高压，耐腐蚀，耐流体中颗粒的冲撞和磨损。★ 适用于气体流体。性能参数 参 数最 小典 型最 大单 位流量范围（刻度） 1000 sccm零点漂移 0.1 mv输出电压漂移 1 %F.S重复性 迟滞 1 %F.S加热电流6，恒电流mA加热功率95，恒功率mW加热电阻257026902810ohm零点温漂 0.8 %FS参考电阻温度系数 -578 Ppm/℃上游热偶堆输出（空气，25℃）149165171mV下游热偶堆输出（空气，25℃）149165171mV工作温度-10 80℃反应时间 10ms过 压＞15（217）Bar(psi) 外型尺寸