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V10FD-L低压型MFC/MFM ●普通低耐压型,适用于1MPa以下非腐蚀性气体 ●响应速度100ms,无需预热,上电即可操作●无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年●数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量●内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯●内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度 V10FD-L为模拟和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通 讯。具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。 V10FD-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测量原理。多气 体多量程的设计便于用户现场配置流量计：通过拨码开关可以现场选 择四种测量气体，每种气体有3种校准量程，六个LED指示灯可以 较直观的显示V10FD-L的各种工作状态。如果需要对气体流量进行 控制时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。 与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系数时, V10FD-L没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与出厂时的标定 气体不同,也不会影响测量精度。 产品应用：真空镀膜太阳能半导体石油石化 煤炭冶金制气配气环保 各种分析仪器 技术参数 技术指标 V10FD-LC质量流量控制器V10FD-LM质量流量计量程范围 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM测控范围 控制器阀控范围50:1流量计量程比100:1准确度 流量： 1.5%读数 0.2%满量程 可选 0.8%读数 0.2%满量程 压力：0.5%F.S温度： 1℃ V10FD低压型流量计线 性 0.5%F.S重复精度 0.2%F.S响应时间 100ms 10ms数字量 RS232/485，MODBUS协议模拟量 0～5V、4～20mA、1～5V供 电 24V/ 15V可选工作温度 0～50℃工作压力 工作压差：0.03～0.5MPa工作压降： 0.01Mpa最大耐压 1MPa电气连接 DB15孔漏率 1 10-9SCCSHe温度系数 0.015%F.S/℃底座材质 铝合金或316L不锈钢密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接 头 VCR1/4;swagelok 6