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设计特点 压电式控制阀 金属密封结构 响应时间快 设计紧凑 316L/316SS不锈钢结构 高精度达 1％P2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对小流量液体进行快速、精确控制的领域。其简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。独特的热式测量系统提供精确的测量，同时液体温度上升小于5度。高级的控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可提供对小流量液体进行快速、稳定的控制。P2000i系列同时也包括有一个液体质量流量计，用于那些不需要进行流量控制的场合。D2000i系列液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、精确控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保（高纯度和泄漏完整性）。独特的层流旁路和传感器部件提供精确的测量，同时液体温度仅上升5度，此外，D2000i的简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。液体流量计和控制器技术参数流量范围：P2000i系列和D2000i系列液体流量控制器是以异丙醇（IPA）来标定的，在测量其它液体介质时需要乘以一个校正系数，具体请参考表一响应时间：P2000i系列：2s（设定点的2％之内）D2000i系列：＜1s（流量的5％之内）精度和线性： 1％满量程（P2000i系列）； 1％读数（D2000i系列）重复性：P2000i系列：＜ 0.2％满量程（任意连续温度下）D2000i系列：＜ 0.2％读数量程比：P2000i系列：50：1（2％-100％满量程）D2000i系列：20：1（5％-100％满量程）最大操作温度：40℃（104℉）最大操作压力：125PSIG温度系数：＜0.1％/℃ 设定点输入/流量输出信号：0-5VDC/0-5VDC（输出流量信号时：需最小2K 电阻）供电电源：﹢15VDC 10％（电流消耗＜200mADC时）泄露率：1х10-9atm.cc/sHe预热时间：10分钟（P2000i系列）；20分钟（D2000i系列）电气连接：9针D型入口/出口过程连接：1/8 MaleVCR或1/8 Swagelok控制阀：压电式常开内置容积：＜0.71ml（P2000i系列）；＜1ml（D2000i系列）重量： 0.68Kg结构材质主体：316LSS传感器组件：316LSS阀构成部件：316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列） O 型环：316LSS