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MFC是新一代压力不敏感数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术,能有效地避免因压力波动而造成的流量不稳。 MFC广泛地应用于诸如半导体和薄膜生产工艺等高精度、高纯度气体系统。 MFC集成了压力传感器并能显示压力等读数,各种模拟和数字通讯可选。 MFC压力不敏感质量流量控制器,满量程范围从10-50000sccm. MFC低压质量流量控制器,满量范围从2-50sccm.
系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器
日期:2010-10-04 01:22 点击:14
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