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CMQ0050J/KCMQ0200J/KCMQ0500J/K 气体质量流量控制器 CMQ系列是高机能型数字式气体质量流量控制器，它使用了山武公司研制的感热式微型流量传感单元和比例电磁阀的先进技术。因此CMQ是一种高性能、低成本的产品。CMQ具有响应快、控制范围宽的特点，能满足多种工业控制要求