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型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度 1%，响应 1/秒，基本的性能适用于半导体过程控制，而且价格合理。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。 特点通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应通用的常闭型阀门无焊接构造，金属密封确保低的泄露由于膈膜角座阀较少了死区间距，主体尺寸和连接的设计可以和生产商的控制器兼容