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设计特点 热式原理 一体化设计 满量程从5SCCM到1000SLPM 响应时间不超过2秒钟 操作压力可达20MPa 对安装位置不敏感 316SS材质，允许测量腐蚀性气体 无直管段安装要求 单电源供电技术参数流量范围：从0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具体请参考表一响应时间：1～2秒精度： 1%满量程（除204A型）；--------- 1.5%满量程（204A型）重复性： 0.2%满量程量程比：50:1（2%-100%满量程）环境和操作温度：-10～70℃最大操作压力：3000PSIG（20MPa）