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量程F.S.:0.01L/m到20L/m，精度:1%F.S.以内，应答速度:0-100%F.S2秒以下，输出信号：0-5VDC产品针对于半导体行业工业气体控制要求而开发，溶接构造、金属密封。精度小于1%，低泄露。