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F.S.流量 N2换算10SCCM-20SLM 阀执行机构电磁常闭 控制范围2%-100%F.S 应答性应答速度 1秒精 度 1.0%F.S.以内线 性 0.5%F.S.以内再现性 0.2%F.S.以内动作差压49KPa-294KPa(F.S. 5SLM)147KPa-294KPa(5SLM F.S. 20SLM)耐 压0.98MPa泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作温度0～50 C接触物质的材料本体:SUS316L隔膜：合金电镀底座：.PTFE密封垫：合金，SUS316连 接1/4VCR电气连接9针插座控制信号0-5VDC输出信号0-5VDC电 源5400：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)200mA5410：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)100mA