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F.S.流量 N2换算10SCCM-20SLM 阀执行机构电磁常闭 控制范围2%-100%F.S.应答性0-100%F.S2秒以下控制控制范围应答性精 度再现性2%-100%F.S.设定 98%F.S.至2秒以内（标准） 1.0%F.S.以内 0.2%F.S.以内精 度 1.5%F.S.再现性 0.5%F.S.使用压差范围 5SLM时，49～294KPA5SLM 范围 20SLM时，98～294KPA压力限制980KPA泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作温度5～45 C接触介质的材质本体:SUS316L隔 膜VitonTM(可选:NoepreneTM)阀 座VitonTM(可选:NoepreneTM)密封材料BytonTM(可选:氯丁橡胶)连 接1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC电气连接9针插座控制信号0-5VDC输出信号0-5VDC电 源+15VDC( 5%)100mA 15VDC( 5%)200mA 产品针对于大学、研究所用途开发，作为各种气体分析仪器、真空设备的采用标准，目前是销售量最大的产品。