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F.S.流量 N2换算10SCCM-20SLM 阀执行机构电磁常闭 控制范围2%-100%F.S 应答性应答速度 1秒精 度 1.0%F.S.以内线 性 0.5%F.S.以内再现性 0.2%F.S.以内动作差压49KPa-294KPa(F.S. 5SLM)98KPa-294KPa(5SLM F.S. 20SLM)耐 压0.98MPa泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作温度0～50 C接触物质的材料本体:SUS316L隔膜：SUS316底座：.PTFE密封垫：氯丁(二烯)橡胶或NBR连 接标准：1/4SWL可选：1/8SWL，1/4VCR，Rc1/4电气连接9针插座控制信号0-5VDC输出信号0-5VDC电 源+15VDC( 5%)100mA 15VDC( 5%)200mA 流量范围：10SCCM～20SLM，精度 1%F.S.，应答速度 1秒。特点：精度高、应答快、无缝溶接构造、低渗漏。适用范围：半导体等行业气体控制。