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随着DELTA流量比例控制器的使用,优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20.
DELTA 2流量比例控制器
日期:2010-10-03 22:19 点击:6
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