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LINE-TECH会社是专业研发和生产气体质量流量控制器(MFC) 气体质量流量计(MFM)的厂家。 产品最大亮点：耐高压，耐腐蚀 （不防爆） 应用范围：广泛的应用在真空镀膜设备，Sputter磁控溅射台，PCD,CVD,MOCVD,氧化，等离子刻蚀，单晶炉制造设备，精密的半导体产业，燃料电池，细胞培养发酵罐设备，精密气体混合分析仪，反应装置，生物反应器，生物过程控制器，大学实验室，研究所，食品及制药产业，二氧化碳饮料灌装相关设备，医疗设备等等涉及到人工，电子或电脑控制的气体相关作业。 压力范围：M3030 2030 3050 2050系列产品：0.3公斤 90公斤（5psia---1300psia） M3100 M2100系列产品：2公斤 70公斤（30psia---1000psia） 气体介质:适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如三氯化硼、三氟化硼、氯化氢、氟化氢等等） 误差率：由于环境因素的变化率 1.温度不同的变化率： 0.1%fs/ C 零点：小于 0.075%fs/ C 最大流量：小于 1.0%fs/10~50 C 2.不同位置的零点变化：最大偏差为 0.5%fs，不是水平安装的话，安装完之后从新调整零点。 3.压力补偿： 0.03%fs/psig 4.预热时间：45分钟 5.不同供给电源的误差率： 0.09%fs/电压变化 原理：热感式的。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门。