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气体质量流量控制器（MFC）性能指标客户没有特别的要求时，气体质量流量控制器（MFC）出厂通常以氮气（N2）标定。1000sccm等於1liter30slpm=30liters（公升）sccm:s=standardcc=cm的3次方m=minute（分鐘）slpm:s=standardl=literp=perm=minute（分鐘）标准状态规定：温度―――0℃（273.15K）气压―――760mmHg（101325Pa）项目M3030V型M3030A1流量规格（N2）10sccm～30slpm (可以根据客户要求在10sccm到30slpm中任意一段量程进行标定）2准确度 1%F.S（FullScale）3重复精度 0.25%F.S（FullScale）4响应时间 3sec(特别要求：: 1sec)5耐压最高95bar6工作环境温度5℃~65℃7输入输出信号0~5Vdc or 4~20mA8电源 15Vdc,350mA