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热式气体质量流量计是气体流量计中的新型仪表，区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。一支传感器可以做到量程从极低到高量程。依据的原理是流体吸收热的速度直接与质量流量相关。移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量，流量越大，接触热电阻的分子越多，吸收的热量越多，热吸收与某种气体的分子数，热学特性和流动特性有关。