价格:未填
供应:99999
发货:3天内
一.概述HD170直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，HD170用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，HD170也同样适用。HD170直接热式MFC/MFM与其它差压原理的HD170一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。 二．使用范围产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。三.产品特点●直接热式原理，无层流元件●无压损,抗结晶,抗腐蚀●适用于各种低压和高压管道●精确测量和控制气体的质量流量●预热时间短,零漂小，可靠性高●多种气体可选,也可自行输入四.技术参数 技术指标HD173-RC质量流量控制器HD173-RM质量流量控制器 量程范围小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～2000SLM 控制范围控制器20：1流量计20：1 准确度流量： 3%F.S压力：0.5%F.S温度： 1℃ 线性 0.5%F.S 重复精度 0.2%F.S 响应时间100ms10ms 数字量RS232/485，MODBUS协议 模拟量0～5V、4～20mA、1～5V 供电12V/24V/ 15V可选 工作温度0～50℃ 工作压力工作压差：0.03～0.5MPa工作压降： 0.01Mpa 最大耐压低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa 电气连接DB15孔 漏率1 10-9SCCSHe温度系数 0.015%F.S/℃流量产品底座材质316L密封材料氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接头VCR1/4;swagelok 6