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Baratron薄膜电容式压力传感器MKS
日期:2010-10-02 11:08  点击:10
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Baratron 薄膜电容式高精度压力传感器(温度控制在45℃)690A高精度绝对压力传感器,满量程范围:0.1 2500Torr,精度:读数值的0.05%。698A高精度差压式压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.05%。 Baratron 薄膜电容式压力传感器(工作在室温)622A绝对压力传感器,满量程范围:1 1000Torr,精度:读数值的0.15%。626A绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.15%。623A绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:10 1000Torr,精度:读数值的0.15%。722A紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 2500Torr,精度:读数值的0.5%。i-Baratron DMA带DeviceNet 通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.15%。 Baratron 薄膜电容式压力传感器(温度控制在45℃)627B/629B绝对压力传感器,满量程范围:0.02 1000Torr,精度:读数值的0.12%。E27B/E29BEtch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.02 100Torr,精度:读数值的0.12%。624B绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 2000Torr,精度:读数值的0.12%。727A紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 1000Torr,精度:读数值的0.5%。627C/E27Ce-Baratron 带以太网通讯口的绝对压力传感器/Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.12%。i-Baratron DMA带DeviceNet 通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.12%。D27B/D24B双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 1000Torr,精度:读数值的0.12%。 Baratron 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃)628B/629B绝对压力传感器,满量程范围:0.02 1000Torr,精度:读数值的0.25%。E28B/E29BEtch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.02 100Torr,精度:读数值的0.25%。625B绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 2000Torr,精度:读数值的0.25%。728A紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 1000Torr,精度:读数值的0.5%。628C/E28Ce-Baratron 带以太网通讯口的绝对压力传感器/Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.25%。i-Baratron DMA带DeviceNet 通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 1000Torr,精度:读数值的0.25%。(温度控制在80℃)D28B/D25B双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 1000Torr,精度:读数值的0.25%。 Baratron 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃以上)631B高温型绝对压力传感器,满量程范围:1 000Torr,精度:读数值的0.5%,温度控制在150℃或200℃。可选带继电器触点控制 Baratron 差压式薄膜电容式压力传感器223B差压式压力传感器( 15V电源),满量程范围:0.2 1000Torr,精度:0.3%。225A差压式压力传感器(+24V电源),满量程范围:0.2 1000Torr,精度:0.3%。 Micro-Baratron 薄膜电容式压力传感器890单端连接式/892气流通过连接式压力传感器,满量程范围:1000Torr 3000psi,精度:读数值的1%。891单端连接式/893气流通过连接式压力传感器带压力显示,满量程范围:1000Torr 3000PSI,精度:读数值的1%。 压力开关41单端连接式表读压力/42气流通过连接式表读压力/51单端连接式绝对压力/52气流通过连接式绝对压力压力开关,满量程范围:10Torr 500psi,精度:0.5%。 集成Baratron 的压力控制器 PC90集成Baratron 的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力。满量程范围:100 2000Torr,精度:读数值的1%。 PC99集成Baratron 的带流量监测的压力控制器,集成压力/流量显示器,可控制下游压力。压力满量程范围:100 2000Torr,流量满量程范围:10 5000SCCM,精度:读数值的1%。640绝对压力/641表读压力集成Baratron 的压力控制器,可控制上游或下游压力。满量程范围:10 1000Torr,精度:读数值的0.5%。649集成Baratron 的带流量监测的压力控制器,可控制下游压力。压力满量程范围:10 1000Torr,流量满量程范围:10 5000SCCM,精度:读数值的0.5%。 上游压力控制阀和压力控制器148J金属密封压力控制阀,满量程范围:10 3000SCCM。248A橡胶密封压力控制阀,满量程范围:10 5000SCCM。154A大流量压力控制阀,满量程范围:20 200slm。250E气体压力/流量控制器。其输入压力或流量信号,通过PID闭环控制模块,控制压力阀和(或)质量流量控制器. 下游压力控制阀和压力控制器T3PIA集成了控制和驱动器的摆式压力控制阀。其特点是压力控制范围宽,速度快,能精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字通讯口可选。其还具有隔离阀的功能。T3BIA集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。其特点是能快速,能精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字通讯口可选。253B/653B蝶式节流阀/高速蝶式节流阀。其特点是能快速,精确,可靠地控制压力。各种尺寸接口可选。可与651控制器配套使用。651C自调谐/数字PID控制器。其能控制和驱动253/653节流阀。自调谐功能优化压力控制参数。 压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪PDR2000双通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。660B单通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。246C/247D单/四通道电源和显示仪。提供质量流量控制器电源,流量设置和流量显示。PR4000单或双通道电源和显示仪。提供压力传感器和(或)质量流量控制器电源,流量设置和压力/流量显示。647C四或八通道电源和显示仪。提供压力传感器和质量流量控制器电源,显示一路压力值,四路或八路流量设置和显示。PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。146C多达五通道电源和显示仪。仪器有五个插槽供不同控制板使用。这些控制板可以是:压力传感器板、双皮拉尼真空规板、冷阴极离子真空规板、热阴极离子真空规板、质量流量控制器板、PID控制板。
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姓名:徐勇(先生)
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