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技术参数 行程范围：X轴------500mmY轴------600mmZ轴------400mm结构型式：活动桥式传动方式：（德国）高精密光杠+预载荷高精度空气轴承长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5μm机台：高精度花岗岩平台使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m温度变化1℃/h空气压力：0.4MPa-0.5Mpa空气流量：100L/min–120L/min整机尺寸：1.2mX1.4mX2.2m机台承重：500kg整机重量：850kg