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主要特征: 横梁与Z轴采用表面阳极化航空铝合金，温度一致性极佳；并降低了运动部件的质量，减少测量机在高速运行时的惯性 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形 Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性 各运动轴均采用直流伺服驱动，确保运动的平稳和准确 X向采用精密三角梁专利技术，相比矩形梁和横梁，重心更低，质量刚性比最佳，运动更加可靠 软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM)，功能强大，易学高效 采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统，提高了机器的动态性能和测量精度规格型号与技术指标: 型号