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平移范围：12.5㎜测量范围：300 m（ 150 m）驱动／检测元件　探测仪：178-390／-395＊测头：金刚石（测头半径：5 m／2 m＊）测量力：4mN／0.75mN＊探测方式：微感应评定轮廓：P，R估计参数：Ra，Ry，Rz，Rp，Rq，Sm，S，Pc，R3z，mr数字过滤：2CR-75％，2CR-75％PC，Gaussian-50％截止波长：0.25，0.8，2.5㎜截止波长：2.5，8 m取样长度（L）：＊＊0.25，0.8，2.5㎜显示：LCD打印机：