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技术参数行程范围：X轴------500mm Y轴------600mm Z轴------400mm结构型式：活动桥式传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 m机台：高精度花岗岩平台使用环境：温度(20 2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m 温度变化1℃/h空气压力：0.4MPa-0.5Mpa空气流量：100L/min 120L/min整机尺寸：2.0mX1.7mX2.7m机台承重：1000kg整机重量：1200kg