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微型自调焦激光传感器适用替代现有传统的位移和粗糙度测头。它可以进行快速非接触式表面轮廓和粗糙度测量以及精密位移的测量。激光测量光束借助于一个物镜聚焦于物体表面。由于物镜的位置是被连续调整的，因而激光束的焦点总是与物体表面重合。表面轮廓和局域光的反射是被同时测量的。因而，本组件可测定各种边缘和各种材料。所有传感器功能可以借助于仪器上配备的软件宏进行控制。这些宏指令可以装载于已有的软件中。AFS传感器具有表面复现高度保真的特点。作为一个选择项，传感器可配备微型照相机适配器，以便能够对表面片段的观察直接进入镜头，使激光光束精密定位。采用特别开发、高度集成的BMT-IC，传感器热漂移极低。采用大数值孔径物镜，仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。主要用途： ◆ 具有高保真表面复现的表面粗糙度和轮廓的测量◆ 精密位移测量◆ 微机械零件的尺寸测量◆ 冶金金相测量◆ 振动测量◆ 厚度测量◆ 直线度,平面度，弧度的测量主要特点：◆ 非接触式表面轮廓测量、反射性能的测量、垂直和横向的尺寸测量◆ 唯一的通过透镜观测描绘被测物体表面特征的传感器◆ 微型化的传感器◆ 分辨率1nm◆ 可达2000 m大的测量范围◆ 光斑直径 1 m◆ 适用已确定的制造业的几乎所有粗糙度测量体系◆ 连续聚焦 主要优点：◆ 在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量 ◆ 测量结果与表面结构无关 ◆ 数据采集和评估可归并到已有的软件中◆ 具有可组装性，可组装到已有的系统中 技术数据： 型 号AFS1传感器AFS2传感器TFS传感器测量范围祄 500/ 50 1000/ 100 500/ 50垂直分辨率nm11 工作距离mm2213激光班直径（约） m0.50.51最大测量频率*kHz202020最大视场倾角** 202015激光波长nm635635635激光等级111外形尺寸mm52x25x5852x25x5852x25x58重量（约）g100100100