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行程范围：X轴------500mm Y轴------600mm Z轴------400mm 结构型式：活动桥式传动方式：柔性同步齿型带+预载荷高精度空气轴承长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 m机台：高精度花岗岩平台 使用环境：温度(20 2)℃，湿度55%-65%，温度梯度1℃/m 温度变化1℃/h空气压力：0.4MPa-0.5Mpa空气流量：100L/min 120L/min整机尺寸：1.0mX1.5mX2.0m机台承重：600kg整机重量：900kg