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型号C9106/8C9166/8C9206/8测量范围 轴905mm(36 )905mm(36 )905mm(80 )Y轴1005mm(16 )1605mm(22 )2005mm(36 )Z轴605mm (24 )805mm(32 )605mm (24 )805mm(32 )605mm (24 )805mm(32 )分辨率0.0001mm(0.1 m)导向方式各坐标轴上的空气轴承测量精度E=(1.9+3L/1000)UM当使用TP200时E=(1.9+3L/1000)UM当使用TP200时R=1.9 m(当使用TP200时)R=1.7 m(当使用TP200时)球杆性能＝9 m(.00036 )重复精度＝3 m(.00012 )　　驱动速度CNC模式8-300mm,最大合成速度520mm/s操纵杆模式0-80mm/s(高速模式)0-3mm/s(低速模式)0.05mm/s(微进给模式)最大测量速度8mm/s(3mm/s当Z＝805时)最大测量加速度各轴加速度0.13G最大合成加速度0.23G工件最大高度800mm(31.5 ):Z=605mm1000mm(39.3 ):Z=805mm最大重量11200kg(2640ibs.)1500kg(3300ibs.)1800kg(3960ibs.)质量Z=605mm2231kg(4908ibs.)2868kg(2309ibs.)3912kg(8606ibs.)Z=805mm2261kg(4974ibs.)2898kg(6375ibs.)3482kg(7682ibs.)气压0.4MPa 空气消耗量60升/分(在正常条件下1或1.8CFM) 温度范围16至26℃温度漂移每小时2.0k每24小时5.0k温度梯度垂直方向1.0k/m水平方向1.0k/m