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利用臭氧对药厂洁净系统消毒，是国家药品监督管理局推行GMP、GSP委员会编著的《药品生产验证指南》所推荐的方法之一，因其灭菌的高效性和无二次污染的特点，较之化学试剂熏蒸等方法有更多的优越性，在制药行业得到了越来越广泛的应用。其优越性体现在以下几个方面：1.灭菌效果极佳。微生物控制可轻而易举达到国际先进水平，是制药行业消毒史上的一次革命。2.无二次污染，有利于工作人员健康。甲醛是强致癌物质，《指南》指出国外药厂早已放弃甲醛熏蒸的方法。我国卫生部2000年5月颁发的《消毒技术规范》也明确指出： 甲醛不宜用于空气消毒，因有致癌作用 。臭氧在常温下迅速分解，并以30分钟的半衰期还原为氧气，对环境无二次污染，对人体无害。3.使用方便。甲醛熏蒸需8-12小时以上，尤其是残余甲醛的清除和监测很麻烦。臭氧消毒一小时后，无需人为清除残余留物，人员即可进入工作，开关机均有程序控制，使用十分方便。4.实现空调节能，降低成本。使用臭氧消毒，非生产班次即可将空调、风机全部停下来，节约电费、降低生产成本。5.延长过滤装置使用寿命。熏蒸形成的多聚甲醛是一种白色粉末，不仅堵塞高效过滤器，甚至还要堵塞中效过滤器，影响过滤器使用寿命。臭氧不仅没有堵塞的作用，并且由于臭氧有溶菌性特点，还可延长过滤器的使用寿命。