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主要特点:1.采用新的内置电源系统，取消了原系统中的powermodule机箱。2.将原系统中所有的控制电路板取消，重新设计整合成为三块电路板。整体结构更加紧凑，设备占用空间小，同时新系统还在I/O信号检测、平面电机控制、设备状态显示等方面做了重新设计，大大降低了整体维护成本。3.XYZ方向运动速率采用先进的S-Curve算法控制Chuck运动，XY方向可以由用户根据需要自行编制控制曲线，Z轴方向行程高度可以设置调整，增强了系统的可操控性。探针触点的缓冲接触，避免了wafer损伤或接触不良等情形的发生。4.保留了平面电机系统气浮轴承无摩擦、启停迅速、运行稳定、高精度、噪音小、维护方便和长寿命等优点。5.配合PC机和操作软件，能够完成测试、打点、离线mapping、数据输出等各种功能，可以很好地应用于中小规模IC、半导体分立器件，特别是LED等专用器件的参数测试。与AW-PCM测试系统连接，可用于工艺控制数据的采集和分析。