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去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC147规定的“去离子”定义为： 　　“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。” 　　现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。 　　应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 　　从自来水到去离子水一般要经过几步处理： 　　先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 　　然后高压通过反渗透膜 　　最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物 　　假如此时电阻率还没有达到要求的话 　　可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆 　　相对而言蒸馏水只是先气化再冷凝 　　纯度如电导率一般不如纯度高的去离子水 　　实际半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水